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   保守的高真空泵都在幾Pa范圍。因此前級泵必須預抽到這一壓力主泵才干開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時間，高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強。因為隨著壓力降低泵的抽速在減小，特別是對于周期性抽氣的真空機組，對達到工作真空度的時間是有要求的預抽時間越長，進入工作真空度的時間也越長，故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合，可在較短的時間達到主泵可以工作的壓力，這樣可以使系統盡快地進入工作壓力，保證了設備的使用效率。

    羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優異的高真空性能，同時在中真空范圍也有超強的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機組的高真空機組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高，所以可使前級泵易于處于高流量狀態；而分子增壓泵吸入壓力高，減緩了前級泵的預抽負擔。分子增壓泵可以在100-50Pa工作，前級泵從大氣到這一壓力，基本遵從每經過時間壓力降低一個數量級的規律，因此，機組可以具有很高的抽氣效率。簡化高真空機組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優勢。

    對于較大型的高真空應用設備，也可適當加強前級泵的預抽能力，進一步縮短抽氣時間，由于預抽時間與整個排氣過程相比很短，所以前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設備的預抽作用，而這往往是非常現實的真空泵油在有空氣(或氧氣)及金屬催化劑的存在下，一定溫度下的氧化時間里，會呈現油品的酸值、粘度變化及生成沉淀物的狀況。會隨運用過程而發作氧化作用，因此逐步生成一些醛、酮、酸類和膠質、瀝青質等物質，氧化安定性則是抑止上述有利于油品運用的物質生成的性能。水蒸氣在緊縮過程中會凝結成水滴，并與泵混合構成懸浮液，不只會使真空度降落，也能使泵腔與轉子生銹，破壞密封面，使泵的極限真空度降落。為此，防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。

  真空機組防止的措施有：

    選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵；裝油分別器、離心式分別器或油水分別器，將混有水的機械泵油中止處置，處置過的油再流入泵中運用；運用吸水性強的單調劑；運用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸氣，同時還可以阻撓機械泵油向高真空室返流。